▲반도체 세척용 특수가스인 NF3(삼불화질소) 용기. (사진제공=효성)
효성은 중국 절강성 취조우시에 약 2000억원을 순차적으로 투자하여 2017년 상반기까지 연산 2500톤 규모의 공장을 신설하고, 울산시 남구 용연 3공장 부지에도 약 1000억원을 투자해 연간 1250톤 생산이 가능한 공장 증설을 추진, 올해 3월부터 상업생산을 시작한다고 11일 밝혔다.
효성은 이번 중국공장 신설을 통해 빠르게 성장하는 중국 내수시장의 수요를 충족시켜 중국 및 글로벌 시장에서 우위를 선점할 계획이다.
이번 한국 증설과 중국 진출을 시작으로 향후 10년간 한국 및 중국에 약 6000억원을 투자하여 국내외 전체 생산량 총 1만톤에 달하는 생산능력을 갖춰 글로벌 특수가스 시장을 적극 공략해 나간다는 계획도 공개했다.
한편, NF3(삼불화질소)는 각종 전자기기에 들어가는 반도체나 LCD, 태양전지의 제조공정에서 발생하는 이물질이 묻어 있는 장비의 세척에 쓰이는 기체다. 색깔과 냄새가 없는 비 발화성 기체이지만, 강한 독성을 지니고 있다.
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